很多工廠在進(jìn)行無塵車間設(shè)計(jì)時(shí)都會(huì)先進(jìn)行無塵車間方案的確定,在微電子生產(chǎn)工藝的無塵車間內(nèi)，根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)流程將無塵車間劃分為換鞋區(qū)、風(fēng)淋室、貨淋室、半成品區(qū)、成品裝配區(qū)、成品包裝區(qū)等多個(gè)區(qū)域。每個(gè)區(qū)域都達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的無塵標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行技術(shù)性配置，這些都是無塵車間標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的基本要求。
(1)天花：潔凈區(qū)及生產(chǎn)區(qū)域用雙層優(yōu)質(zhì)保溫(PU)彩鋼板，無塵明亮。符合電子廠房潔凈防靜電要求。
(2)間隔：潔凈區(qū)及生產(chǎn)區(qū)用雙面彩鋼保溫(PU)板圍護(hù)及間隔。潔凈車間內(nèi)間隔與地面及無花交角做元弧及陰角接口，防積塵及易于衛(wèi)生清潔。外墻要求表面整潔、平整，典型的建筑材料有磚混墻、剪力墻、鋼結(jié)構(gòu)等，并具有外保溫層。內(nèi)墻表面應(yīng)堅(jiān)固光潔、平整、不起灰、不產(chǎn)生靜電、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗、無氣孔。墻四周密封無縫隙。地面應(yīng)光滑、平整、無縫隙、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚電，易除塵清洗且耐潮防水。
(3)密閉門：?jiǎn)紊乳T：900*2000，上做玻璃觀察窗(同間隔墻平窗尺寸),裝通道鎖，門及門框采用不銹鋼制作。
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